Microaccéléromètre fondé sur l’utilisation d’un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or

Microaccéléromètre fondé sur l’utilisation d’un microrésonateur en quartz avec des électrodes en or, réalisé par usinage chimique de wafers de quartz. La variation de fréquence du résonateur est proportionnelle à l’accélération subie par la masse d’épreuve. Les bonnes performances des résonateurs en flexion utilisés sont : facteur de qualité de 12 000 pour une fréquence de 60 kHz. Ils permettent de réaliser des accéléromètres d’une résolution de 1 µg. Ces capteurs sont utilisés dans les centrales inertielles de grande précision des missiles et des aéronefs. Cette photographie a été réalisée au sein de l’ONERA, membre du réseau d’excellence FIRST-TF porté par le CNRS.